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無油真空泵機(jī)組結(jié)構(gòu)合理、選用的材料適當(dāng)、動平衡性能良好、振動小、噪音低、密封性能好及易損件壽命長等。其真空泵腔內(nèi)無油潤滑，不產(chǎn)生廢水、廢氣，可獲潔凈真空，對于化工設(shè)備進(jìn)行的化學(xué)反應(yīng)中的反應(yīng)介質(zhì)不會因為真空泵的排出而改變它的性質(zhì)，所以有利于尾氣潔凈回收。

無油真空泵機(jī)組的重要組成部件：

1.機(jī)械傳動部件：由電機(jī)通過三角帶傳動，驅(qū)動曲柄滑塊結(jié)構(gòu)作往復(fù)運動，滑塊（十字頭）將往復(fù)運動通過活塞桿傳遞給活塞。

2.吸、排氣部件：活塞（安裝有封氣的F4活塞環(huán)），在氣缸內(nèi)往復(fù)運動形成缸內(nèi)氣體的膨脹和壓縮，并通過軸向布置的進(jìn)排氣閥完成吸、排氣動作。

3.輔助功能部件：曲軸箱內(nèi)的潤滑油通過濺油或油泵泵油潤滑有關(guān)運動件，上部冷卻水（0.2bar）帶走氣體壓縮產(chǎn)生的熱量，氣缸內(nèi)活塞環(huán)采用F4自潤滑材料，無需另加油潤滑。

4.填料密封部件：分為普通型和特殊性

5.普通型：選用聚四氟乙烯或橡膠類骨架油封

6.特殊性：專門針對易燃易爆氣體（如co，干氣、甲烷氣等各種對環(huán)境要求較高的氣體）。使用時通入具有一定壓力，一定流量（參照工藝工況選擇）的氮氣，經(jīng)過兩次節(jié)流后，與泄漏到混合腔的工質(zhì)混合，引到系統(tǒng)外，從而避免了工質(zhì)氣體泄漏到環(huán)境中引發(fā)危險，避免了空氣進(jìn)入氣缸污染原料。

7.隔腔：為防止填料部件實效引起物料泄漏，污染曲軸箱內(nèi)潤滑油，加裝隔腔部件，從而徹底隔絕過流部分和運動部件的接觸途徑，保證真空系統(tǒng)的無油。特別適用于物料具有一般腐蝕性，對機(jī)油有較強(qiáng)敏感度或要求較高清潔度的尾氣回收等環(huán)境。